科普:什么是光刻技术?芯片设计制造最关键的光刻技术详解
光刻是集成电路最重要的加工工艺。光刻技术跟照相技术差不多,照相是将镜头里的图画“印”到底片上,而光刻是将电路图和电子元件“刻”到“底片”上。在光刻工艺中,通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”,电路图案经光刻机,缩微投射到“底片”上。制造芯片,要重复几十遍这个过程。
光刻技术的主要作用,就是把芯片上的线路与功能区做出来。利用光刻机发出的光,通过带有图形的光罩,对涂有光刻胶的薄片进行曝光,光刻胶见光后会发生化学反应,从而使光罩上的图形印到薄片上,线路和功能区随之显现。
在芯片加工过程中,光刻是其中一个重要的步骤,甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤,决定着制造工艺的先进程度。
光刻技术的精细度,直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而,光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术,如果没有光刻技术的进步,芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。
光刻技术与我们的生活息息相关,我们用的手机,电脑等各种各样的电子产品,里面的芯片制作离不开光刻技术。为满足摩尔定律的要求,技术人员一直在研究、开发新的芯片制造技术,来缩小线宽并增大芯片的容量。
原文来自:芯片逆向